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聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝
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截标时间：标书代写
| 申购单主题： | 聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝 | 申购单位： | ********学院） | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2026-11-10 16:01:54 | 申购备注： |
| 聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝 | DENKA | 174C CZ | 1 |
| 规格 |
| （1）热场发射灯丝尖端直径 0.5um（+/-0. 1um）,热场发射灯丝尖端长度255um（+/-15um），热场发射灯丝在 1800k 工作模式下，加速电压 10kv,中心光阑，聚光镜关闭状态下样品电流220+/-10pA。 （2）包含ZEISS多孔光阑1个，材料为铂铑合金，外径3mm,共计六孔，六孔孔直径7/10/20/30/60/120um，中心孔径为20um。 （3）包含ZEISS阳极光阑1个，铂金/不锈钢合金材质，中心孔径为40um。 （4）包含ZEISS铝密封圈1个，高真空密封用铝合金密封圈，HNV 120型，外径23，7mm,内径19.7mm。 （5）包含ZEISS铜密封圈1个，DN100规格紫铜高真空密封圈，厚度2mm。 （6）由ZEISS原厂工程师完成上述灯丝和配件的安装与调试。 |
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