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原子层沉积系统
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截标时间：标书代写
| 申购单主题： | 原子层沉积系统 | 申购单位： | **** | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2026-11-10 14:21:03 | 申购备注： |
| 原子层沉积系统 | 元于科技 | YT-ALD150 | 1 | 工程师现场安装培训。 |
| 规格 |
| 1. 支持最大 6 英寸样品的标准腔体，标准最大样品高度 6mm；，氮气保护的双 O-Ring 高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃；腔体烘烤温度 RT-200℃可控，控制精度±1℃. 2. 共 4 路前驱体源；1 路为常温源，3 路为加热源，加热温度 RT-200℃可控，控制精度±1℃；加热源配备高温手动阀和前驱体源瓶体积 50cc。1路为常温源。 3. 每一路前驱体配置一个原子层沉积专用高速高温 ALD 阀；ALD 阀加热温度 RT-150℃可控。 4. 所有前驱体管路全部采用 316L 不锈钢 EP 级管路，所有管路加热温度RT-150℃可控。 5. 高浓度臭氧发生器，包括管路，裂解器附件最高产量＞15g/h，功率0~300W可调，最大浓度＞3.5%沉积6. PLC自动控制系统 |
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