中山大学聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝202610115666

发布时间: 2026年11月13日
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申购单主题: 聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝
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商品名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
聚焦离子束刻蚀系统热场发射灯丝 DENKA 174C CZ 1 国内含税价/人民币 无
规格 (1)热场发射灯丝尖端直径 0.5um(+/-0. 1um),热场发射灯丝尖端长度255um(+/-15um),热场发射灯丝在 1800k 工作模式下,加速电压 10kv,中心光阑,聚光镜关闭状态下样品电流220+/-10pA。 (2)包含ZEISS多孔光阑1个,材料为铂铑合金,外径3mm,共计六孔,六孔孔直径7/10/20/30/60/120um,中心孔径为20um。 (3)包含ZEISS阳极光阑1个,铂金/不锈钢合金材质,中心孔径为40um。 (4)包含ZEISS铝密封圈1个,高真空密封用铝合金密封圈,HNV 120型,外径23,7mm,内径19.7mm。 (5)包含ZEISS铜密封圈1个,DN100规格紫铜高真空密封圈,厚度2mm。 (6)由ZEISS原厂工程师完成上述灯丝和配件的安装与调试。
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