招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 超高真空腔体及配套组件定制加工服务 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-11-13 15:10:56 | 公告截止日期
2026-11-18 16:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
货到验收付款 |
联系人
| 联系电话
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签约时间要求
| 到货时间要求
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预算总价
| ￥264000.00 |
发票要求
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含税要求
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送货要求
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安装要求
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收货地址
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供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
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采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 超高真空腔体及配套组件定制加工服务 |
1 |
项 |
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品牌
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型号
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预算单价
| ￥ 264000.00 |
技术参数及配置要求
| 一、总体要求 1.按附件安装空间及主要部件位置要求，完成1套超高真空腔体及样品制备组件的深化设计、精密加工、真空焊接、表面处理及装配检测，实现进样、制备、低温解理、存样和真空传输。 2.供应商应配备专业工程技术人员，与采购人协同完成方案设计、工艺优化、接口适配及现场联调，并根据调试结果完成必要优化与整改，直至达到技术要求。供应商对设计、制造、装联及交付性能负责，采购人对设计方案的确认不免除供应商相应履约责任。 二、主要技术要求 1.腔体结构、材质与加工： 按附件完成快速进样腔、制样制备腔及样品解理与存储腔的深化设计与精密加工，经三维干涉校核和采购人确认后形成加工图。配1500×1200 mm、台面高900 mm的可调平支架1套，适配4×4×4 m安装空间，完成外压及载荷校核。腔体及真空管路采用316L不锈钢，导冷件采用高纯无氧铜，高温样品座采用钼、钽或钨；关键配合尺寸偏差≤±0.05 mm，法兰密封配合端面平面度≤0.03 mm，关键定位面Ra≤0.8 μm。提供材质证明、316L碳含量≤0.03%的定量复检及焊后关键尺寸三坐标检测报告。 2.超高真空与密封： 主腔及可拆卸真空接口采用CF金属密封，法兰符合ISO 3669:2026并与现有接口兼容，满足150 ℃烘烤。进样快开门采用耐烘烤真空密封，通过全金属隔离阀与主腔隔离。在双方确认的抽气、测压及烘烤条件下，恢复室温并停止进样、加热后，制备腔和解理交换腔本底压力≤1×1E-10 Torr，进样腔≤1×1E-7 Torr，连续抽气条件下保持≥2 h。组件总氦漏率及隔离阀额定压差下阀座氦内漏率均≤1×1E-10 Pam3/s，采用经标准漏孔校准的氦质谱检漏仪检测，提供检漏及联机真空测试记录。 3.快速进样腔： 设DN63CF抽气、腔间连接及存样架接口，DN40CF测压、磁力传样和真空转运容器（suitcase）对接口，以及惰性气体接口。配可烘烤快开进样门、观察窗及精密充气阀各1套，门体连接法兰≥DN100CF，有效装样开口≥100 mm。定制≥5位升降存样架1套，行程≥100 mm，具备定位、防脱及逐位交接功能。 4.制样处理腔： 设抽气、测压、五轴操纵、冷媒、电气及≥DN63CF腔间接口，定制≥5位存样架1套。MBE蒸发源安装口≥10个（DN63CF≥2、DN40CF≥8）；观察及测温窗≥6套（DN40CF≥3、DN63CF≥2、DN100CF≥1），对应净通光直径≥30、60、80 mm，含高温计适配石英窗≥1套。RHEED电子枪DN40CF、荧光屏DN100CF接口各1个，DN40CF扩展口≥4个（含离子清洗枪口）。蒸发束线汇聚样品生长位，RHEED满足掠入射几何，观察、传样及五轴全行程互不干涉。 5.样品解理与存储腔： 设≥DN100CF抽气口、DN63CF腔间连接及冷**装口，以及测压、传样、样品接收、冷媒和电气接口；DN40CF观察窗≥5套（净通光直径≥30 mm）、蒸发扩展口≥3个。定制≥5位存样架及低温解理组件各1套，冷台有效行程≥150 mm，具备样品夹持定位、可更换刀头、行程调节及碎屑收集功能，满足低温解理和真空传样交接要求。 6.隔离与传样： 配可烘烤全金属密封隔离阀3套，主要腔间传样通道最小有效通径≥63 mm、样品接收通道≥38 mm。配置磁力传样机构3套，覆盖进样—制备—解理—接收路径，主要水平行程分别≥800、1000 mm，竖直机构具备平衡、防坠结构。按现有样品接口定制抓手、限位、角度微调及防脱组件，统一样品托≥10个，重复交接定位误差≤0.2 mm，全路径无卡滞和干涉。 7.五轴、低温冷却与高温加热： 定制五轴样品处理台1套，X/Y行程各≥25 mm、Z≥50 mm，面内旋转总范围≥360°、面外倾转总范围≥90°，平移及角度读数分辨率分别≤0.1 mm、≤1°，各轴独立定位锁定。处理台、解理台各定制液氮/液氦兼容冷却组件1套，含进液、回气、真空馈通、热屏蔽、测温及泄压结构；约定载荷下样品托液氮模式≤80 K、液氦模式≤10 K，均稳定≥30 min。低温导冷接触面局部镀高纯金（Au≥99.9%，厚度≥2.5 μm，无镍底层），避开高温受热区。处理台集成直流及电子束轰击加热组件各1组，配可切换导冷连接、隔热屏蔽及测温结构；直流加热≥1300 ℃，电子束加热≥1500 ℃，其中1500 ℃保持≥5 min、1000 ℃保持≥1 h，以试样实测温度为准。EB工作电压0～2 kV，高压馈通额定电压≥5 kV，采用耐高温陶瓷绝缘及防放电结构，工作真空下2 kV连续运行≥10 min无异常放电或击穿，具备过温、真空异常断高压及停机放电联锁接口。 8.真空焊接与质量检测： 按结构及冷热工况制定焊接工艺，真空边界采用洁净氩弧焊，关键薄壁低热漏接头采用电子束焊，异种材料采用经评定的真空焊接或钎焊；配专用工装及有效气体保护，控制焊接变形、铁磁性污染和夹层滞气。焊缝无裂纹、未熔合及超标未焊透，适用焊缝按ISO 5817:2023、ISO 13919-1:2019的B级控制。真空边界焊缝100%外观检查及氦检漏，可达外表面100%渗透检测（PT），关键可检对接焊缝实施射线检测（RT）或经确认的适用方法。关键低温接头同工艺试件经≥5次室温—液氮循环，复检气密及尺寸，提供无损检测、代表性金相和残余应力评价报告。 9.洁净处理与装联验收： 不锈钢真空内壁电化学抛光，零部件经去毛刺、脱脂、化学/超声清洗、纯水漂洗及洁净干燥，去除焊接、电镀及检测残留，保护CF密封刀口；镀金层完成厚度、附着力及冷热循环后检查。三腔分区真空烘烤150 ℃、≥24 h，以腔壁实测温度计时，温敏附件按额定温度控制。供应商按确认图纸完成装联及现场联调，验证≥20次全路径往返传样、五轴运动、冷热处理、低温解理、加热及安全联锁；冷热运行后复检真空、电气和运动性能，交付深化设计图、关键加工图、工艺及验收检测记录。 三、实施、交付及履约要求 1.成交供应商逐条响应技术、验收、交期及履约要求，提交设计、加工、人员设备、外协及进度方案，明确电子束焊、电抛光及检测安排并提供能力证明。成交后5个日历日内协同采购人完成深化设计确认，提交加工图、三维模型、接口清单及验证测试方案。 2.制造及质量控制：自行制作工装，按确认图纸及工艺制造；永久真空连接前完成预装、尺寸复核及关键工艺验证。材料、结构及工艺变更须经采购人确认，连接工艺变更须重新验证。供应商统一负责外协质量及全过程记录，材料、焊缝、试件与检测报告须对应可追溯。 3.交期及费用：方案确认后30个日历日内完成加工组件交付，15日内完成关键机加工、接头试件验证及预装复核，试制验证计入工期。报价包含设计优化、材料及配套件、试制、工装、加工连接、表面处理、装联、规定检测、外协、现场安装联调与指导、运输及整改返工等全部费用，不得另行加价。 4.履约与交付：提供与实物一致的图纸、三维模型、配套清单、操作维护说明及工艺检测记录，派工程师现场配合安装、联调指导及整改。采购人现场核验配置与资料，完成全部规定测试，复检本底压力、气密及电气性能；全部指标合格、运行正常且资料齐全后通过验收。 5. 违约及质保：因供应商原因不合格的，免费整改、返工或重制并承担相关费用，2个工作日内提交整改方案；两轮整改仍不合格可拒收或解除合同。逾期每日按合同金额0.05%支付违约金，累计不超过10%，逾期超过15日可解除合同。质保期自最终验收合格起≥12个月，质量问题免费维修或更换；技术问题4小时内响应，需现场处理的48小时内到场。 四、履约保证金： 成交供应商在网上竞价成交确认后3个工作日内须向采购人交纳成交金额的2.5％作为履约保证金（精确到百位数），待项目完成验收合格后退还，不计利息。如成交供应商如没有按时缴纳履约保证金，视同放弃成交资格，采购人可按照成交候选人名单排序顺延递补。 履约保证金缴纳账户： 户名：**** 账号：121********006875 开户行：****银行****路支行 五、付款方式： 项目完成验收合格后付款。 六、需要了解本项目情况请与张老师联系，联系电话：150****1550。 七、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在****采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：****@qq.com 。********管理处****中心）联系电话：****1033，联系人：袁老师。逾期不予受理。 八、特别提醒： 1.供应商须符合《****供应商管理暂行办法》第六条规定的供应商基本条件，如****公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3****学校****政府采购活动并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 ****学校****政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 4.其他未尽事宜按照《****网上竞价管理办法》有关规定执行。标书代写 |
参考链接
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售后服务
| 1.供应商签订合同后，负责送货上门，安装调试。2.本项目要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之一：1）在本地注册成立的；2）在本地具****公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：**市。非**市供应商也可在成交结果公示后5个工作日内完成本地化服务建设，竞价时上传承诺书，否则报价无效。 |
附件（2）
本地化服务承诺书.docx下载预览
超高真空腔体及样品制备组件定制加工图.docx下载预览
标书代写
