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| 低能电子衍射仪(LEED)真空腔体 | 1.0/台(套) | 力晶真空(本地化售后服务) | LCLEEDUHV200 | 1.★腔体材质:所有与真空接触基材 SUS304不锈钢,真空内表面无油污、氧化皮、毛刺;焊接采用全自动氩弧焊,内外焊道连续,氦检不漏; 2.★烘烤温度:腔体及所有接入部件整体可烘烤 ≥180 ℃,最高 200 ℃;所有密封为 ConFlat 刀口无氧铜金属密封,无橡胶 O 圈; 3.★极限真空:腔体烘烤完成后本底真空≤5×1010 mbar(N); 4.真空检测:测量范围 5×10 mbar~1000 mbar,带 CF40 法兰接口,0-10V 模拟输出 + RS485 数字通讯,可自动切换测量模式; 5.涡轮分子泵:半磁浮轴承,氮气标称抽速 290 L/s,入口法兰 DN100 CF,前级接口 DN25 KF,集成驱动器,RS485 通讯; 6.二维手动位移台:UHV 可烘烤≥150℃,X/Y 双轴手动调节,单轴行程≥12mm,调节分辨率≤10μm,CF 法兰密封馈入,低放气; 磁力传样杆:UHV 可烘烤≥150℃,磁耦合传动,无真空贯穿动密封,行程≥150mm,末端可夹持样品,低放气 | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |