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4英寸低温背景离子刻蚀机延期公告
招标详情
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***********公司企业信息
4英寸低温背景离子刻蚀机延期公告
延期信息
| 延期理由： | 有效供应商不足三家采购方决定延期 |
| 项目名称 | 4英寸低温背景离子刻蚀机 | 项目编号 | **** | ||||
| 公告时间 | 2026/11/15 11:00 | 报价截止时间 | 2026/11/18 11:00 | ||||
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 成交后在我参与的项目中查看 | ||||
| 采购预算 | ￥385,000.00 | ||||||
| 采购单位 | **** | ||||||
| 送货期限 | 合同生效之日起180日内 | ||||||
| 送货地址 | **市**区**路67号****南校区第一实验楼510 | ||||||
| 付款方式 | 货到验收合格付全款 | ||||||
采购清单
1
| 货物名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 预算总价（元） | 质保期 | ||
| 4英寸低温背景离子刻蚀机 | 1 | 不限定品牌 | 不限定型号 | 385000 | 1年 | ||
| 技术参数要求 | 直流考夫曼型离子源：氩离子束物理刻蚀，4吋范围刻蚀不均匀性在5%以内，束压0-1000V束流0-100mA。卧式刻蚀无油真空系统：系统极限真空8×10-5Pa，大气至本地5×10-4Pa时间小于40分钟，工质氩气质量流量计控制。水冷旋转可变角度复合工件台：旋转速度可调，角度可变。背景温度-20～25℃。操作模式：手动+自动 | ||||||
| 售后服务 | 期内免费维修，2小时响应、48小时到场；期外终身维修、优惠配件、终身免费工装夹具加工。 | ||||||
招标进度跟踪
2026-11-15
流标公告
4英寸低温背景离子刻蚀机延期公告
当前信息
2026-11-12
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