上海靶材招标采购

...主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 辉光放电质谱仪 1 用于晶圆、靶材相关工艺中涉及的所有材料的主量、微量和痕量成分的分析。适合导体、半导体、非导体材料所有形态样品的直接全元素分析。用于材料的镀层分析，获得材料的元素深度分布曲线和表层材料的表面分布分析。 2024.10.31前 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:1） 投标...( 靶材 在正文中 )

...主要设备): 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 1 辉光放电质谱仪 1 用于晶圆、靶材相关工艺中涉及的所有材料的主量、微量和痕量成分的分析。适合导体、半导体、非导体材料所有形态样品的直接全元素分析。用于材料的镀层分析，获得材料的元素深度分布曲线和表层材料的表面分布分析。 2024.10.31前 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:1） 投标...( 靶材 在正文中 )

...H) 2. 输电源：220V/50Hz, 1000W 3. 溅射靶头1：直流磁控溅射，可用靶材：金属靶材 4. 溅射靶头2：射频磁控溅射，可用靶材：无机非金属靶材 5. 真空系统：涡轮分子泵+旋片式真空泵 6. 抽速：90L/s+1.1L/s 7. 真空测量;复合式真空规 8. 量程范围:1E-3~1E5Pa 9. 真空室:φ200×130mm高硼硅玻璃 1...( 靶材 在正文中 )

...同济大学2024年5月政府采购意向-离子束溅射用Ru靶材 详细情况 离子束溅射用Ru靶材 项目所在采购意向： 同济大学2024年5月政府采购意向 采购单位： 同济大学 采购项目名称： 离子束溅射用Ru靶材 预算金额： 100.000000万元(人民币) 采购品目： A07010542钌加工材 采购需求概况 ： 由于X射线多层膜制备需求，需采购高纯度Ru靶材，...( 靶材 在正文中 )

...详情 170.000000 2024年05月 详见项目详情 2 同济大学 离子束溅射用Ru靶材 A07010542钌加工材 详见项目详情 100.000000 2024年05月 详见项目详情 3 同济大学...( 靶材 在正文中 )

...主体设备更换及相应土建整改。 1700000 202405 2 同济大学 离子束溅射用Ru靶材 A07010542 由于X射线多层膜制备需求，需采购高纯度Ru靶材，用于离子束溅射设备 1000000 202405 本次公开的采购意向本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 政府采购网公告地址： http://cgyx.cc...( 靶材 在正文中 )

...25吨高纯稀土金属靶材及2000吨高端稀土合金材料产业化项目（一期）设计施工总承包（EPC)项目真空碳管炉、碳棒炉采购评标结果公告 招标编号：SZJZ(E)2024-010 招标项目名称：25吨高纯稀土金属靶材及2000吨高端稀土合金材料产业化项目（一期）设计施工总承包（EPC)项目真空碳管炉、碳棒炉采购 经25吨高纯稀土金属靶材及2000吨高端稀土合金材料...( 靶材 在正文中 )

...H) 2. 输电源：220V/50Hz, 1000W 3. 溅射靶头1：直流磁控溅射，可用靶材：金属靶材 4. 溅射靶头2：射频磁控溅射，可用靶材：无机非金属靶材 5. 真空系统：涡轮分子泵+旋片式真空泵 6. 抽速：90L/s+1.1L/s 7. 真空测量;复合式真空规 8. 量程范围:1E-3~1E5Pa 9. 真空室:φ200×130mm高硼硅玻璃 1...( 靶材 在正文中 )

...0口径磁悬浮涡轮分子泵1套，抽速不小于2000L/S; 3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套，靶材直径100mm； 4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率1000W， 13.56MHz； 5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率6KW，峰值电流750A； 6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套，功率3KW； 7. 配置阳极层离子源1套，功率5KW；...( 靶材 在正文中 )

...验开发服务 采购需求概况 ： 供应商在合同签订后一年内提供构建3立方米探测靶所需全部高纯度靶材，纯度达到99.999%，靶材总用量为15吨，使用期限为1年。服务商负责材料运输和回收。 预计采购时间： 2024-02 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。...( 靶材 在正文中 )

...中国科学院上海微系统与信息技术研究所靶材采购中标公告 项目名称: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所靶材采购 项目编号: 0747-2361SCCZQ25 公告类型: 中标公告 公告时间: 20240202 行政区域: 上海市 总中标金额: ￥914350.000000 万元（人民币） 评审专家 范启富，由浤，朴承善，陆洪芳 供应商 上海振卡新材料科技有限...( 靶材 在正文中 )

...测物质之间新型相互作用信号。需供应商在合同签订后一年内提供构建3立方米探测靶所需全部高纯度靶材，纯度达到99.999%，靶材总用量为15吨，使用期限为10年。服务商负责材料运输和回收。（未做意向公开的情况说明请见附件） 预计采购时间： 2024-02 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。...( 靶材 在正文中 )

...中国科学院上海微系统与信息技术研究所靶材采购公开招标公告 2024年01月09日 17:22 公告信息： 采购项目名称 中国科学院上海微系统与信息技术研究所靶材采购 品目 货物/物资/建筑建材/有色金属冶炼及压延产品/碱金属及碱土金属,货物/物资/建筑建材/有色金属冶炼及压延产品/稀有稀土金属,货物/物资/建筑建材/有色金属冶炼及压延产品/贵金属,货物/物资...( 靶材 在正文中 )

...0口径磁悬浮涡轮分子泵1套，抽速不小于2000L/S; 3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套，靶材直径100mm； 4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率1000W，13.56MHz； 5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率6KW，峰值电流750A； 6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套，功率3KW； 7. 配置阳极层离子源1套，功率5KW； 8...( 靶材 在正文中 )

...采购需求概况 预算金额（元） 预计采购时间（填写到月） 备注 1 X射线化学结构分析仪 多靶材单色X射线化学结构分析仪是具有催化、电池能源、光电材料研究中必需的仪器。实验室急需购置一台高性能的多靶材单色X射线化学结构分析仪。具体要求为:（1）同时具备X射线吸收谱功能和X射线发射谱功能；（2）能量范围：5-20keV；（3）可升级实现2-5keV的XES能量范...( 靶材 在正文中 )

...人民币360万元 最高限价：人民币352.8万元 1套 1、配备不少于4支溅射靶枪，可兼容靶材尺寸不小于3英寸。 2、进样室可以安装一个不小于6英寸的基片，并提供至少一个可耐受不低于800摄氏度的托盘。 2024年12月30日前货到复旦大学张江校区。/DPU Fudan University before 2024.12.30 合同履行期限：2024年12月...( 靶材 在正文中 )

...品名称 数量 简要技术规格 备注 1 热阻蒸发磁控镀膜系统 1 至少配备一支射靶枪，可兼容靶材尺寸不小于3英寸。 需预留外径为10英寸的法兰口，满足后续与其他已有设备互联。 基片尺寸：能够兼容6寸及以下尺寸的基片处理要求。 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代理商...( 靶材 在正文中 )

...算金额：人民币140万元 最高限价：人民币136.8万元 1套 至少配备一支射靶枪，可兼容靶材尺寸不小于3英寸。 需预留外径为10英寸的法兰口，满足后续与其他已有设备互联。 基片尺寸：能够兼容6寸及以下尺寸的基片处理要求。 2024年12月30日前货到复旦大学张江校区。/ DPU Fudan University before 2024.12.30 合同履行...( 靶材 在正文中 )

...位 总价 光刻胶刻蚀可靠性分析设备 *腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm*靶材尺寸：直径57mm*0.1mm适用靶材：贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pd、Pt-Pd等样品台可调高度：20-50mm *样品台尺寸：直径65mm 283000 1 台 283000 技术参数 参数名称 是否需要附件证明 评分等级 参数说明 匀胶模块 是 核心指标...( 靶材 在正文中 )

铝上海 上海 发布时间：2023-11-27 采购要求/询价意向 询价物品 锌铝靶材 采购总量面议 目标单价面议( 靶材 在正文中 )

上海大学 钼铌靶材等 采购结果公示 项目名称：钼铌靶材等 申购单号：C202302034 学院/部门：机电工程与自动化学院 数量：1 成交价（元）：42000.00 成交商：杭州瑞莱博科技有限公司 备注：单位（批次） 凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系 地址：上大路99号 联系电话：66135582 上海大学 2023-11-20( 靶材 在正文中 )

...用于评估和提升光刻胶刻蚀工艺的可靠性。腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm。靶材尺寸：直径57mm*0.1mm。清匀胶均匀性：＜±3%。洗工作面积：≤8寸。供货周期自合同签订后2个月内，质保期不低于2年。 （5）预计采购时间：2023年11月 （6）采购意向公示时间：2023-11-21 ~ 迅采公告发布之日 2、联系方式： 采购人名称：上海大...( 靶材 在正文中 )

...人民币360万元 最高限价：人民币352.8万元 1套 1、配备不少于4支溅射靶枪，可兼容靶材尺寸不小于3英寸。 2、进样室可以安装一个不小于6英寸的基片，并提供至少一个可耐受不低于800摄氏度的托盘。 2024年12月30日前货到复旦大学张江校区。/DPU Fudan University before 2024.12.30 合同履行期限：2024年12月...( 靶材 在正文中 )

...算金额：人民币140万元 最高限价：人民币136.8万元 1套 至少配备一支射靶枪，可兼容靶材尺寸不小于3英寸。 需预留外径为10英寸的法兰口，满足后续与其他已有设备互联。 基片尺寸：能够兼容6寸及以下尺寸的基片处理要求。 2024年12月30日前货到复旦大学张江校区。/ DPU Fudan University before 2024.12.30 2 湿法...( 靶材 在正文中 )

...上海大学 高纯金靶材99.999% 采购结果公示 项目名称：高纯金靶材99.999% 申购单号：C202301803 学院/部门：微电子学院 数量：1 成交价（元）：98586.00 成交商：中诺新材（北京）科技有限公司 备注：单位（批次） 凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系 地址：上大路99号 联系电话：66135582 上海大学 2023-11-...( 靶材 在正文中 )

...主要技术指标 （1）样品在各工艺环节间可实现非接触式连续传送 （2）可在不破空条件下的完成靶材更换 （3）各腔室同时工作时无交替污染 集成系统与镀膜腔体具体参数指标： 1.★满足镀膜样品尺寸最大可覆盖：4-8英寸晶圆 2.★腔体极限真空度：≤1×10-7 Pa；腔体 200℃烘烤 72小时，冷却24小时后基础真空低于 5×10-7 Pa 3.★厚度均匀性：≤...( 靶材 在正文中 )

...，硬质薄膜，氮化物，氧化物 3.厚度均匀性：≤1% 4.目标厚度：0.1-30μm 5.★靶材可移动，范围50-150mm，靶枪辉光区域可移动 6.样品尺寸：3-6寸 7.★样品台立式放置，在垂直于溅射方向水平移动范围：±60mm，同时样品自转（转速在1-10rpm内可调） 8.★加热温度：≤800℃ 9.★温度均匀性：±2℃ 10.控温精度：≤2° 11....( 靶材 在正文中 )

...）材质：金属铽，Tb/RE≥99.9%； （2）加工尺寸要求公差范围±0.1mm； （3）靶材致密性均匀，保证无裂纹、气孔； （4）靶材表面光洁无毛刺，光洁度（粗糙度）达到1.6Ra； （5）靶材晶粒度＜500μm；（6）重量为8kg...( 靶材 在正文中 )

靶材询价公告 场次号/项目编号 XJ***0 场次名称 靶材 商品分类 化学原料及产品、实验仪器 采购单位 上海卫星装备研究所 报价有效期 2023-08-18 17:54:54.0 至 2023-08-23 17:54:54.0( 靶材 在正文中 )

...磁控溅射高纯Pt靶材结果公告 发布日期：2023-07-31 中标信息 成交供应商： 天津华瑞新材料科技有限公司 选择理由： 总价最低，推荐成交 质疑投诉说明： 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件递交至学校采购管理部门，逾期不予受理。 项目名称 磁控溅射高纯Pt靶材 项目编号 TYUSTJJCG2023-046 项目编号 TYUSTJJCG2023-0...( 靶材 在正文中 )

...磁控溅射高纯Pt靶材竞价公告 发布日期：2023-07-25 项目名称 磁控溅射高纯Pt靶材 项目编号 TYUSTJJCG2023-046 项目编号 TYUSTJJCG2023-046 公告发布日期 2023/07/25 14:53 公告截止日期 2023/07/28 14:53 公告截止日期 2023/07/28 14:53 采购单位 太原科技大学 是否本...( 靶材 在正文中 )

...一、采购清单 先进材料与制造 二、主要内容 标题： 靶材 场次号： XJ***5 发布时间： 2023-07-10 09:43:51 参与方式： 非定向询价 出价方式： 一次性出价 发布单位： 上海空间电源研究所 最终用户： 上海空间电源研究所 操作员： 王开 联系人： 王开 联系方式： *** 付款方式： 附件： 详见航天电...( 靶材 在正文中 )

靶材询价结果 场次号 XJ***5 场次名称 靶材 交易类型 商品询价 发布单位 上海空间电源研究所 成交时间 2023-07-10 09:43:51.0( 靶材 在正文中 )

...一、采购清单 先进材料与制造 二、主要内容 标题： 靶材 场次号： XJ***5 询价开始时间： 2023-07-03 08:00:06 询价结束时间： 2023-07-10 09:00:06 参与方式： 非定向询价 出价方式： 一次性出价 发布单位： 上海空间电源研究所 最终用户： 上海空间电源研究所 操作员： 王开 联系人： 王开 联系方...( 靶材 在正文中 )

靶材询价公告 场次号/项目编号 XJ***5 场次名称 靶材 商品分类 金属材料 采购单位 上海空间电源研究所 报价有效期 2023-07-03 08:00:06.0 至 2023-07-10 09:00:06.0( 靶材 在正文中 )

【上海造币有限公司】 2023年Teer离子镀靶材采购[成交结果公告]( 靶材 在正文中 )

【上海造币有限公司】 2023年Teer离子镀靶材采购[成交候选人公示]( 靶材 在正文中 )

锌及锌合金材上海 上海 发布时间：2023-06-08 采购要求/询价意向 询价物品 浇铸靶材 采购总量面议 目标单价面议 联系方式 采购商*** 电话：139*****963 IP属地** **( 靶材 在正文中 )

...上海期智研究院-靶材采购项目（第二次）成交公告 一、项目编号：招案2023-1325（招标文件编号：招案2023-1325） 二、项目名称：上海期智研究院-靶材采购项目（第二次） 三、中标（成交）信息 供应商名称：上海谱幂精密仪器科技有限公司 供应商地址：上海市奉贤区钜庭路998号1号楼2A 中标（成交）金额：42.9950000（万元） 四、主要标的信息...( 靶材 在正文中 )

...公告概要： 公告信息： 采购项目名称 上海期智研究院-靶材采购项目（第二次） 品目 货物/其他货物/其他不另分类的物品 采购单位 上海期智研究院 行政区域 上海市 公告时间 2023年05月06日 16:08 开标时间 2023年05月12日 09:30 预算金额 ￥46.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王杰、杨柳 项目联系电话...( 靶材 在正文中 )