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【招标预告】
定制双腔室12靶位25样品位超高真空磁控溅射系统）
杂多县
2022-11-10
...包含4个进口磁控溅射靶枪（不小于2英寸）；（5）直流磁控溅射靶枪电源：包括至少5个进口直流磁控溅射电源（500W）；（6）射频磁控溅射靶枪电源和匹配箱：包含至少3套进口射频溅射电源（含匹配箱）（600 W）；（7）样品位数量：#1样品制备腔室包含18个样品位（有1位置为可加热基片，基片加热温度为室温至600℃，此位置可以加负偏压，偏压范围-5V~-200V；...( 磁控溅射电源 在正文中 )
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