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...套(减压外延生长系统1套、常压外延生长系统1套) 设备用途:主要用于器件加工中外延单晶硅/多晶硅。 资金到位或资金来源落实情况:资金已到位 项目已具备招标条件的说明:已具备 2、招标内容 招标项目编号:0709-***5 招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之外延生长系统 项目实施地点:中国安徽省 招标产品列表(主要设备): 序号 产品名称...( 多晶硅 在正文中 )
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