重庆气体质量流量控制器招标采购

...MOLED干法刻蚀工艺，干法刻蚀机的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 CNY500...( 气体质量流量控制器 在正文中 )

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...5min6.真空测量：大气压到10E-3 Pa，进口品牌皮拉尼真空计7. 气体控制：MFC气体质量流量控制器（50SCCM Ar）8. 样品腔室尺寸：φ150*120mm；耐划伤石英玻璃9. 磁控溅射源：靶材尺寸φ50*0.1-3mm（建议厚度＞0.2mm）/带手动挡板；可溅射贵金属Au、Pt、Pd等，也可以溅射Cr、W、Ag、C等材料（通Ar气）10. 溅...( 气体质量流量控制器 在正文中 )

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...Φ6，出口管道Φ6 套 8 热电阻探头 PT100 支 9 烘箱温控及显示面板 套 10 气体质量流量控制器（配套数显装置） 台 11 风机用三相异步电动机 YEXT-71M2-4 台 12 防爆红外球机 DS-2DY82ABCDEI-XYZL/VWS，200万23倍红外防爆球机 传感器类型: 1/2.8" Progressive Scan CMOS 最低照...( 气体质量流量控制器 在正文中 )

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