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...键环境条件。主要功能参数包括:1)对样品施加40 K – 1300 K的变温控制,且在样品表针过程中需要保持温度稳定,不能有较大的温度漂移。此外,样品从室温降至最低温时间要在2小时以内保持稳定;2)为了便于后期维护,冷却系统需完全闭环,具备液氦回收系统。因回收系统固有的机械振动可能会传导至样品台,而LEEM具有nm级的空间分辨率,故需要做好隔振措施,避免样品...( 表针 在正文中 )
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