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等离子增强系统（薄膜沉积制备系统）采购公告

广东 -深圳

发布时间： 2024年06月26日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

等离子薄膜

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

**** **** 竞采采购公告

采
购
明
细

序号

名称

数量

单位

等离子增强系统（薄膜沉积制备系统）（核心货物）

套

是否接受进口	拒绝进口
品牌	无推荐品牌
型号	无推荐型号
技术规格及参数	1. 腔体：尺寸:φ200mm, 样品台高度≥10mm，材质:316L不锈钢。 2. 源气路：路数:6路，2路常温源，4路可加热源，每路配备1瓶250mL不锈钢源瓶、2个最高温180°C阀门。 3. 反应物气路：路数：1路, H2O，H2O路配1个75mL不锈钢源瓶 4. 等离子体系统：功率1000W，频率13.56MHz，自冷射频源，功率稳定度、调节精度≤10W，转换效率≥65%自动匹配,响应时间<3s，2路气体：N2、O2 5. 臭氧系统：氧气输入1路流量控制，输出1路微调阀+1路最高温180°C阀门，产量5g/h以上，浓度44-93g/m3集成残余臭氧处理器。
质保期	2年
售后要求	1.维修响应时间：质保期内提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，24小时内响应，指导客户维护，如确需上门服务，72小时内派员上门现场维护，并在5天内提供解决方案。 2.在质量保证期内，如合同货物出现质量问题、数量不足、故障、缺陷的, 由卖家负责包修、包换或者包退，并承担修理、调换或退货所发生运费、维修人员交通差旅费等费用。