等离子增强系统(薄膜沉积制备系统)成交公告

发布时间: 2024年07月11日
摘要信息
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代理单位联系人
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招标详情
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相关单位:
***********公司企业信息
**** **** 竞采结果公告
项目名称 等离子增强系统(薄膜沉积制备系统)
项目编号 ****
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起三日
成交单位 ****
成交金额(元) 900000.00
成交理由 最低价成交
预算(元) 920000.0
项目预算是否含税 国产含税
备注



采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)

1

等离子增强系统(薄膜沉积制备系统)(核心货物)

1

900000.0

900000.0

是否接受进口

拒绝进口

品牌

SUPERALD

型号

E200SP

生产厂商

**市****公司

产地信息

中国**

技术规格及参数

1. 腔体:尺寸:φ200mm, 样品台高度≥10mm,材质:316L不锈钢。
2. 源气路:路数:6路,2路常温源,4路可加热源,每路配备1瓶250mL不锈钢源瓶、2个最高温180°C阀门。
3. 反应物气路:路数:1路, H2O,H2O路配1个75mL不锈钢源瓶
4. 等离子体系统:功率1000W,频率13.56MHz,自冷射频源,功率稳定度、调节精度≤10W,转换效率≥65%自动匹配,响应时间<3s,2路气体:N2、O2
5. 臭氧系统:氧气输入1路流量控制,输出1路微调阀+1路最高温180°C阀门,产量5g/h以上,浓度44-93g/m3集成残余臭氧处理器。

质保期

2年

售后要求

1.维修响应时间:质保期内提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,24小时内响应,指导客户维护,如确需上门服务,72小时内派员上门现场维护,并在5天内提供解决方案。 2.在质量保证期内,如合同货物出现质量问题、数量不足、故障、缺陷的, 由卖家负责包修、包换或者包退,并承担修理、调换或退货所发生运费、维修人员交通差旅费等费用。

付款方式 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付100%的货款。
交货期 合同签订后30天(自然日)内,****学校要求提前3天(自然日)通知送货
招标进度跟踪
2024-07-11
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等离子增强系统(薄膜沉积制备系统)成交公告
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