上海工程技术大学 - 竞价公告(CB108562024000151)

发布时间: 2024年09月30日
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**** - 竞价公告(****)
发布时间:2024-09-30 08:17:30 截止时间:2024-10-03 08:27:27标书代写
申购主题: 显影机
报价要求: 国产含税
发票类型: 增值税专用发票
付款方式: 货到验收合格后付款
收货地址: **市/市辖区/**区/****
供应商资质:
备注说明:
送货时间: 合同签订后30天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
预算: 100000.0人民币
采购内容 数量/单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 附件
显影机 1.0/台 100000.0 不指定 不指定 1.支持4寸和6寸晶圆 2.显影方式: 喷雾式和水坑旋覆浸没式(puddle)相结合 3.转速分辨率:±1 rpm 4.旋涂速度: 最高转速≥2000rpm(空载) 5.工艺设置:单步工艺及多步工艺可选;时间精度: 0.1sec 6.液体管路:二路液体管道(显影液、清洗液)+ 一路氮气吹扫 7.PP耐腐蚀腔体 8.电控压力调节 9.触摸屏操作 按行业标准提供服务
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2024-09-30
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