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| 显影机 | 不指定 | 100000.00 | 90950.00 | 按行业标准提供服务 | 1.支持4寸和6寸晶圆 2.显影方式: 喷雾式和水坑旋覆浸没式(puddle)相结合 3.转速分辨率:±1 rpm 4.旋涂速度: 最高转速≥2000rpm(空载) 5.工艺设置:单步工艺及多步工艺可选;时间精度: 0.1sec 6.液体管路:二路液体管道(显影液、清洗液)+ 一路氮气吹扫 7.PP耐腐蚀腔体 8.电控压力调节 9.触摸屏操作 | 1.0台 | 不指定 | 90950.00 | **** |