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东南大学 - 竞价公告（CB102862024001550）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2024-10-25 11:12:47 截止时间：2024-10-29 09:00:00标书代写
申购主题： 有机-金属真空热蒸镀仪采购
报价要求： 国产含税
发票类型： 数电发票（增值税专用发票）
付款方式： 设备到达指**装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的100%。
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后70天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 有机-金属真空热蒸镀仪 | 1.0/台 | **方昇 | 设备技术参数 1样品架系统 ▲1.1标准的样品盘可以容纳100X100mm的基片。 1.2基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-30转/分可调； 1.3掩膜板到基片的距离小于0.2mm. 2蒸发源 ▲2.1至少有4组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料； 2.2源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，并避免源与源之间相互污染； 2.3配1套蒸发电源，功率1.4KW以上，采用进口知名品牌，用于蒸发金属和有机材料，可切换到20组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率； 2.3金属蒸发源均带有水冷功能。 3膜厚测量系统 3.1采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，采用进口知名品牌，可以实时测量蒸发的速度和厚度； 3.2膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度优于1A；频率分辨率0.01Hz，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 4蒸发腔体 4.1腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸≥300×300×530mm； 4.2腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； 4.3腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕； 4.4腔体漏率：整体漏率优于5×10-10 Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa; 5、蒸镀软件控制系统 5.1采用PLC+PC机控制模式； 5.2真空系统通过工控机控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止，软 件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全 | 质保及售后服务：货物的免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。 |
招标进度跟踪
2024-11-02
2024-10-25
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