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东南大学 - 竞价结果公告（CB102862024001550）

结果-中标通知

江苏 -南京

发布时间： 2024年11月02日

标书代写官方

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

代理单位

代理单位联系人

关键信息

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

**** - 竞价结果公告（****）

发布时间：2024-11-02 13:46:41

申购单号： ****

申购主题：有机-金属真空热蒸镀仪采购

采购单位： ****

竞价开始时间： 2024-10-25 11:12:47

竞价截至时间： 2024-10-30 09:09:27

币种：人民币

付款方式：设备到达指**装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的100%。

备注说明：

质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑

成交总额： 193000.0

送货时间：合同签订后70天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

收货地址：

采购项品牌单项预算成交单价质保及售后服务技术参数数量型号成交总价成交供应商

有机-金属真空热蒸镀仪

**方昇

193000.00

质保及售后服务：货物的免费保修期为1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

设备技术参数 1样品架系统 ▲1.1标准的样品盘可以容纳100X100mm的基片。 1.2基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-30转/分可调； 1.3掩膜板到基片的距离小于0.2mm. 2蒸发源 ▲2.1至少有4组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料； 2.2源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，并避免源与源之间相互污染； 2.3配1套蒸发电源，功率1.4KW以上，采用进口知名品牌，用于蒸发金属和有机材料，可切换到20组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率； 2.3金属蒸发源均带有水冷功能。 3膜厚测量系统 3.1采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，采用进口知名品牌，可以实时测量蒸发的速度和厚度； 3.2膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度优于1A；频率分辨率0.01Hz，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 4蒸发腔体 4.1腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸≥300×300×530mm； 4.2腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； 4.3腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕； 4.4腔体漏率：整体漏率优于5×10-10 Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa; 5、蒸镀软件控制系统 5.1采用PLC+PC机控制模式； 5.2真空系统通过工控机控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止，软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全

1.0台

193000.00

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