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小型磁控溅射镀膜机

公告-招标公告

广东

发布时间： 2024年11月11日

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磁控溅射镀膜机

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申购单主题：	小型磁控溅射镀膜机	申购单位：	****	报价类型：	国内含税价
使用币种：	人民币	公示时间：	2024-11-06 21:05:14
申购备注：

商品名称品牌厂商型号数量售后服务

小型磁控溅射镀膜机

200C

规格

1.真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：300*300*H300mm。 2.真空系统：机械泵+脂润滑分子泵，极限真空：优于8*10-5 Pa；工作真空8*10-4pa以下，抽真空时间少于35分钟。 3.真空极限：优于8*10-5 Pa。 4.旋转加热基片台：承载最大直径75mm基片；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转，旋转速度0-20转/分钟可调；配挡板。样品台加热温度室温-350℃。 5.均匀性：75mm直径范围内不均匀性≤±5%。 6.控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制系统。 7.直流溅射电源：功率500W。