双靶离子溅射仪

发布时间: 2024年11月20日
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申购单主题: 双靶离子溅射仪 申购单位: **** 报价类型: 国内含税价
使用币种: 人民币 公示时间: 2024-11-20 09:28:45
申购备注:
商品名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
双靶离子溅射仪 速普/深****公司 J20 1 1、原厂原装。2.服务支持:售后服务标准必须与该产品出厂市场标准服务一致;
规格
1.真空泵:旋片式真空泵 2. 抽速:≥4m3/h 3. 极限真空:<1 Pa 4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制 5. 抽真空时间:<3min 6. 真空计:皮拉尼真空计 7. 腔体:~Φ 135 *120 mm 8.数显样品台:Φ75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0- 40度可调,靶基距45-60mm可调 8. 溅射靶材:靶材尺寸 Φ 30 0.2mm/2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替 溅射功能 9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC 10. 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能15.冷却方式:风冷 16.质保:一年
招标进度跟踪
2024-11-25
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双靶离子溅射仪
2024-11-20
招标公告
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