双靶离子溅射仪

发布时间: 2024年11月25日
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申购单主题:

双靶离子溅射仪

申购单位:

****

申购人:

郭双壮

报价类型:

国内含税价

使用币种:

人民币

公示时间:

2024-11-20 09:28:45

申购备注:

设备名称

品牌/厂商

型号

数量

售后服务

双靶离子溅射仪

速普/****

J20

1

1、原厂原装。2.服务支持:售后服务标准必须与该产品出厂市场标准服务一致;

规格

1.真空泵:旋片式真空泵

2. 抽速:≥4m3/h

3. 极限真空:<1 Pa

4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制

5. 抽真空时间:<3min

6. 真空计:皮拉尼真空计

7. 腔体:~Φ 135 *120 mm

8.数显样品台:Φ75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0- 40度可调,靶基距45-60mm可调

8. 溅射靶材:靶材尺寸 Φ 30 0.2mm/2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替

溅射功能

9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC

10. 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能15.冷却方式:风冷

16.质保:一年

中标供应商

单价(元)

初选理由

****

118800

最低价原则

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