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宁波东方理工大学（暂名）及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价公告（CMEIAS2025000015）

公告-招标公告

浙江 -宁波

发布时间： 2025年03月10日

标书代写官方

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****理****及宁****研究院 - 竞价公告（****）

发布时间：2025-03-10 10:17:33 截止时间：2025-03-14 10:10:00标书代写

申购主题：原子层沉积系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款,如有其他付款要求，请在竞价时注明

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：未****大学(暂名)/宁****研究院不诚信行为供应商的

备注说明： 1.需要送货上门，安装调试，不接受快递物流 2.需要全新正品

送货时间：合同签订后90天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 440000.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

原子层沉积系统	1.0/	440000.0	迈**公司	MNT-S200Oz-L5S1	[{"key":1,"value":"1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积，RT-400℃，精度±1℃；\n2) 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；\n3) 设备本底真空优于3 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa﹒m3/s；\n3) 采用高稳定性的PLC+工业触摸屏，触摸屏尺寸不小于15.6英寸；\n4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式；\n5) 常温源1路，加热源4路，载气辅助源1路；\n6) 配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200 ℃)；\n7) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程0-200 sccm)，臭氧产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3；臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510510210 mm；\n8）真空测量：压力传感器检测范围：5*10-4~1000 mbar；\n9）系统可实现配方编辑、保存、读取等功能，所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；","important":true}]	质保期1年。
原子层沉积系统	1.0/	440000.0	******公司	ALD-8-5	[{"key":1,"value":"1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积，RT-400℃，精度±1℃；\n2) 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；\n3) 设备本底真空优于3 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa﹒m3/s；\n3) 采用高稳定性的PLC+工业触摸屏，触摸屏尺寸不小于15.6英寸；\n4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式；\n5) 常温源1路，加热源4路，载气辅助源1路；\n6) 配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200 ℃)；\n7) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程0-200 sccm)，臭氧产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3；臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510510210 mm；\n8）真空测量：压力传感器检测范围：5*10-4~1000 mbar；\n9）系统可实现配方编辑、保存、读取等功能，所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；","important":true}]	质保期1年。
原子层沉积系统	1.0/	440000.0	******公司	KTXC_200	[{"key":1,"value":"1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积，RT-400℃，精度±1℃；\n2) 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；\n3) 设备本底真空优于3 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa﹒m3/s；\n3) 采用高稳定性的PLC+工业触摸屏，触摸屏尺寸不小于15.6英寸；\n4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式；\n5) 常温源1路，加热源4路，载气辅助源1路；\n6) 配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200 ℃)；\n7) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程0-200 sccm)，臭氧产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3；臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510510210 mm；\n8）真空测量：压力传感器检测范围：5*10-4~1000 mbar；\n9）系统可实现配方编辑、保存、读取等功能，所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；","important":true}]	质保期1年。