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宁波东方理工大学（暂名）及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价结果公告（CMEIAS2025000015）
招标详情
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***********公司企业信息
****及宁****研究院 - 竞价结果公告（****）
发布时间：2025-03-17 13:36:51
申购单号： ****
申购主题： 原子层沉积系统
采购单位： ****及宁****研究院
竞价开始时间： 2025-03-10 10:17:33
竞价截至时间： 2025-03-14 10:10:00
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款,如有其他付款要求，请在竞价时注明
备注说明： 1.需要送货上门，安装调试，不接受快递物流 2.需要全新正品
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 430000.00
送货时间： 合同签订后90天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 原子层沉积系统 | **迈****公司 | 440000.00 | 430000.00 | 质保期1年。 | [{"key":1,"value":"1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积，RT-400℃，精度±1℃；\n2) 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；\n3) 设备本底真空优于3 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa﹒m3/s；\n3) 采用高稳定性的PLC+工业触摸屏，触摸屏尺寸不小于15.6英寸；\n4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式；\n5) 常温源1路，加热源4路，载气辅助源1路；\n6) 配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200 ℃)；\n7) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程0-200 sccm)，臭氧产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3；臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510*510*210 mm；\n8）真空测量：压力传感器检测范围：5*10-4~1000 mbar；\n9）系统可实现配方编辑、保存、读取等功能，所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能；","important":true}] | 1.0 | MNT-S200Oz-L5S1 | 430000.00 | **** |
招标进度跟踪
2025-03-17
中标通知
宁波东方理工大学（暂名）及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价结果公告（CMEIAS2025000015）
当前信息
2025-03-10
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