某项目XX定制加工 6套

一、需求内容
本次拟采购的Encoderblock要求：材料：堇青石；尺寸：66mm×466mm×456.62mm
Encoder Block（EB）是工件台中微动组件的关键零部件，其性能对设备的运行效果起着重要作用。EB功能主要包括承载晶圆吸盘，提供测量读数头安装接口和电机动子安装接口。在微动电机驱动下，EB可以带动晶圆实现六自由度运动。本需求主要涉及EB零件，其为单一材料通过超精密加工成型。综合EB应用工况和先前型号设备的材料选择， EB制造可选材料主要有微晶玻璃和堇青石。通过对比两种材料性能，堇青石材料特性更契合高端需求，现从以下几个方面展开对比分析。
低热膨胀系数保障精度：设备工作时，温度变化易使部件产生热胀冷缩，微小变形就可能导致图案偏差，影响芯片制造精度。微晶玻璃和堇青石热膨胀系数都可低至2×10-8/℃,两种材料该性能相当。
高弹性模量增强稳定性：运行时，EB会受到机械振动、驱动力等外力作用。堇青石较高的弹性模量（＞140Gpa）使其具备出色的抗变形能力，在承受外力时能维持自身结构稳定，有效抑制平台高速移动扫描过程中的变形，避免因部件形变造成的光路偏差、聚焦不准等问题。微晶玻璃弹性模量约为90 GPa，远低于堇青石材料。
良好热导率实现高效散热：设备在工作中会产生大量的热，高导热率能及时将热量导出并通过微环境散发，维持设备内部温度均匀，保障各部件在适宜温度下工作，提升设备的可靠性和稳定性。堇青石的导热系数约为微晶玻璃的3倍。
低密度实现轻量化：在精密运动部件中，轻量化设计有助于提高运动速度和响应灵敏度，降低能耗和机械应力。堇青石密度略高于微晶玻璃。
二、资格要求
需具备一定的技术研发和制造实力；具备完善的产品测试能力，有必要的检测设备及相关手段；营业执照；注册资本实缴资本不能为0；具备ISO9001质量认证体系证书等
三、线下对接联系人：
联系人：魏博文
联系电话：195****8713