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东南大学 - 竞价公告（CB102862025001232）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2025-09-23 14:11:55 截止时间：2025-09-26 09:00:00标书代写
申购主题： 晶圆双面对准显微镜系统
报价要求： 国产含税
发票类型： 电子发票（普通发票）
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 晶圆双面对准显微镜系统 | 1.0/套 | 功能：用于晶圆的光学对准。 1 配置正面及背面相机 2 使用相机品牌型号：无要求 3 相机数量 正面2个，背面 2个 4 光学倍率6倍 5 相机像素：200万像素相机； 6 相机驱动 XYZ 三轴调整控制 7 控制方式 RS-485 8 移动范围：X轴移动范围70~130mm：Y轴 工件中心±5mm 9 工作台 XY轴 ±5mm，θ轴±3°调节 10 工作台Z轴μm级精密gap控制。 11 画像处理 配置专用画像处理系统 12 画像靶点可存储和修改。 13 可通过预设参数进行自动抓取靶点。 14 预设靶点误操作时，可通过调整参数，重新匹配 15 对位次数，精度，补正等参数，可以在画像系统中设定 16 配方可以进行复制，方便操作。数量可达999个。 17 显微镜各位置可保存。 18 光刻时可以自动退避。 | 按行业标准提供服务 |
招标进度跟踪
2025-10-09
2025-09-23
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