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| 晶圆双面对准显微镜系统 | 165000.00 | 按行业标准提供服务 | 功能:用于晶圆的光学对准。 1 配置正面及背面相机 2 使用相机品牌型号:无要求 3 相机数量 正面2个,背面 2个 4 光学倍率6倍 5 相机像素:200万像素相机; 6 相机驱动 XYZ 三轴调整控制 7 控制方式 RS-485 8 移动范围:X轴移动范围70~130mm:Y轴 工件中心±5mm 9 工作台 XY轴 ±5mm,θ轴±3°调节 10 工作台Z轴μm级精密gap控制。 11 画像处理 配置专用画像处理系统 12 画像靶点可存储和修改。 13 可通过预设参数进行自动抓取靶点。 14 预设靶点误操作时,可通过调整参数,重新匹配 15 对位次数,精度,补正等参数,可以在画像系统中设定 16 配方可以进行复制,方便操作。数量可达999个。 17 显微镜各位置可保存。 18 光刻时可以自动退避。 | 1.0套 | 165000.00 | **** |