单片清洗机（等离子清洗机）设备采购成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

稷以

型号

Triton 160

生产厂商

****公司

产地信息

**市**区**路555号戊楼4026室

技术规格及参数

一、详细配置
1.1射频电源与匹配器
*1.1.1选用13.56MHz射频电源。
1.1.2最大功率1200w。
1.1.3全自动高速匹配器，可迅速匹配至最优输出功率与最小反射功 率，支持预匹配功能。
1.1.4使用真空可调电容，匹配系统具有优秀的稳定性、可重复性与耐 用性。
1.2高真空腔体、与进/排气系统
*1.2.1腔体有效尺寸：>518Wx 518Hx 648Dmm。
1.2.2可选配多种电极结构配置，包括射频电极(实心、镂空),地电 极(实心、镂空),悬浮电极以及其它定制电极形式。
1.2.3标配2路工艺气体，通过质量流量计控制，最大可扩充至5路工 艺。可按工艺需求指定流量计量程(如50/100/200/500sccm等)。
1.2.4采用干泵，抽速80m3/h。
1.2.5真空计有效量测范围1~100000mTorr。
1.3软件与系统控制
*1.3.1通过PLC与工业级PC协同控制，基于Win7系统的专用控制软 件，乙方具备软件著作权，可支持后续对软件功能的定向开发。
1.3.2可设置工艺程序数量不受限，以文件形式保存在硬盘上，便于管 理备份。
1.3.3具备完善的设备参数监控，可对射频功率、气体流量、腔体压力 等工艺数据进行实时监控与报警定义，当系统发生异常时及时报警提示。
1.3.4软件可自定义设置多级权限控制(主管级、硬件工程师、工艺工 程师、技术员与操作员级等等),可设置不同用户名，归入各级控制权限内。
1.3.5软件具有独立的数据库，可存储系统日志(event log)与工艺 数据(data log)以便随时追溯。数据可随时导出，便于厂家存档备份。
二.技术指标
2.1.工艺效果
2.1.1根据客户要求，可实现8寸wafer清洗活化用途；
2.1.2经合适的等离子工艺处理后，产品表面水滴角可达到30°以内 或者客户指定范围。
2.1.3产品处理后表面无异色，无烧灼。
2.2设备硬件指标
*2.2.1低压可在120s内降到100mTorr以下，工艺腔体极限真空≤ 20mTorr,极限真空后压升≤20mTorr/min
2.2.2射频功率50~1200w连续可调。设定200w以上时，误差值<10w。
*2.2.3匹配器将射频功率匹配到最佳值的时间≤3s。
2.2.4流量计最小气流量>满量程2%,气体流量误差≤该流量计满量 程的1.5%。
2.3产能与稳定性
3.3.1工艺腔体的单个工艺周期≤5min(以射频工艺时间3min计算)。
3.3.2 MTBF>336h。
3.3.3 MTTR<1h。

配置名称 数量 备注
真空不锈钢腔体 1 容积173L/有效容积160L
射频电源 1 13.56MHz /1250w
全自动高速匹配器 1 真空电容，全自动高速匹配器
真空泵 1 干泵80m3/h
真空计 1 INFICON
流量计 1 Hitachi
工控机 1 研华工控，含专用软件
PLC 1 OMRON
电极组 2 2组平板电极，
Leave 1备件包 1 耗材
晶圆托盘 2 八寸晶圆托盘
三、所响应产品是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如若安装或配置了软件，均为正版软件。

质保期

1、保修期
1.1设备验收合格之日起12个月计算。
1.2设备保修期内出现的顽疾如未能彻底解决或反复出现，即使过保后，卖 方无偿解决并补签备忘录。

售后要求

2.维护保养 2.1保修期内，若设备发生故障，卖方在接到买方的设备故障通知后，24小 时内赶到现场，保修期内的维修服务和除消耗品以外的零部件的更换属于无 偿的。 2.2保修期外，若设备发生故障，卖方应在接到买方设备故障通知后48小时 (特急情况24小时)内抵达用户现场。保证期外的维修服务和所有部件的 更换属于有偿的。 2.3设备保修期满后，卖方工程师每年回访招标人一次，招标人在设备方面 遇到问题时，卖方工程师应尽力解决。 3培训 3.1设备最终验收前，卖方负责对买方的技术人员免费进行为期一周的操作 技术及维护保养培训，培训内容包括设备的安装、使用、日常维护与保养， 故障的排除，安全操作等。 3.2技术培训应达到实际效果，要使招标人的技术人员熟练操作设备，并掌 握设备日常维护与保养方法。 3.3在设备保修期内，若买方技术人员对设备有其它使用技术上的要求，卖 方应通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导。