电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）延期公告

预算单价￥ 158,400.00技术参数及配置要求 1 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗）
2 使用DataStream触控屏幕的人机互动操作系统计算机控制系统
3 可完成最大8英寸圆片或7英寸方片作业 手动上下料
4 可实现温度根据环境变化自动调节功能
5 密码保护功能
6 台面材质与尺寸：10英寸方形阳极氧化铝
*7 温度设定最小精度：0.1℃
*8 温度可设定范围：室温到300℃
*9 温度均匀性：在热板表面测量允许误差+/-0.3%
10 设备具备温度程序设定曲线升温功能
*11 设备具备定时升起顶针功能
*12 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能
13 设备异常时将发出警报声提示
14 四种烘烤方式：接触式，悬浮式，真空吸附，顶针式售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

预算单价￥ 225,000.00技术参数及配置要求 1 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗）
2 使用DataStream操作系统计算机控制系统具备强大人机界面和数据连通能力
3 7英寸全色触摸屏
4 该设备适用于最大8英寸圆片作业 手动上下料
5 透明丙烯酸的机盖，可观察工艺全过程。
6 排气、排水位于wafer水平线下（保证均匀性并可调节）
7 排气装置、真空、排水、电等位于设备后部
8 PC控制
9 晶圆专用真空卡盘套装1套（1/8英寸、5/16英寸、1/2英寸、3/4英寸、1.5英寸、2.25英寸，可针对碎片，2英寸，3英寸，4英寸圆形晶圆使用）
10 用户图像界面
11 无穷组工艺程序可设定
12 密码保护设定
*13 转速可设定范围：0-12,000 rpm
*14 加速度：0 to 30,000 rpm/s（空载情况下）
0 to 23,000 rpm/s（4英寸硅片装载情况下）
*15 转速误差精度: < 0.2 rpm
*16 转速可设定最小精度< 0.2 rpm
*17 卡盘马达可顺时针、逆时针旋转
18 时间设定精度0.1秒（9,999.9秒最大）
19 匀胶均匀性：衬底为100毫米圆形硅片，1微米胶厚时±3%以内。
*20 间接无刷交流伺服驱动电机（防止污染化学物直接进入电机内部）
21 真空盖子安全自锁(未盖密闭报错提醒)
22 自动真空自锁(硅片真空未吸附，报错提醒)
23 设备异常时将发出警报声提示
24 匀胶腔体底部曲面倾斜式，减少光刻胶的堆积，减少反溅，减少维护保养次数，并且带有1套可更换内衬，方便使用者定期清洗保养。
25 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能售后服务 电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;