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电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）延期公告

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浙江 -杭州

发布时间： 2026年05月06日

摘要信息

招标单位

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投标截止时间

关键信息

匀胶机热板公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板	****
2026-04-25 19:41:29	2026-05-09 12:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后90个工作日内
￥383400.00




******实验室102
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

电子束胶专用热板

台

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 158400.00

1 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗） 2 使用DataStream触控屏幕的人机互动操作系统计算机控制系统 3 可完成最大8英寸圆片或7英寸方片作业手动上下料 4 可实现温度根据环境变化自动调节功能 5 密码保护功能 6 台面材质与尺寸：10英寸方形阳极氧化铝 *7 温度设定最小精度：0.1℃ *8 温度可设定范围：室温到300℃ *9 温度均匀性：在热板表面测量允许误差+/-0.3% 10 设备具备温度程序设定曲线升温功能 *11 设备具备定时升起顶针功能 *12 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能 13 设备异常时将发出警报声提示 14 四种烘烤方式：接触式，悬浮式，真空吸附，顶针式

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

采购清单2

采购商品采购数量计量单位所属分类

电子束胶专用匀胶机

台

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 225000.00

1 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗） 2 使用DataStream操作系统计算机控制系统具备强大人机界面和数据连通能力 3 7英寸全色触摸屏 4 该设备适用于最大8英寸圆片作业手动上下料 5 透明丙烯酸的机盖，可观察工艺全过程。 6 排气、排水位于wafer水平线下（保证均匀性并可调节） 7 排气装置、真空、排水、电等位于设备后部 8 PC控制 9 晶圆专用真空卡盘套装1套（1/8英寸、5/16英寸、1/2英寸、3/4英寸、1.5英寸、2.25英寸，可针对碎片，2英寸，3英寸，4英寸圆形晶圆使用） 10 用户图像界面 11 无穷组工艺程序可设定 12 密码保护设定 *13 转速可设定范围：0-12,000 rpm *14 加速度：0 to 30,000 rpm/s（空载情况下） 0 to 23,000 rpm/s（4英寸硅片装载情况下） *15 转速误差精度: < 0.2 rpm *16 转速可设定最小精度< 0.2 rpm *17 卡盘马达可顺时针、逆时针旋转 18 时间设定精度0.1秒（9,999.9秒最大） 19 匀胶均匀性：衬底为100毫米圆形硅片，1微米胶厚时±3%以内。 *20 间接无刷交流伺服驱动电机（防止污染化学物直接进入电机内部） 21 真空盖子安全自锁(未盖密闭报错提醒) 22 自动真空自锁(硅片真空未吸附，报错提醒) 23 设备异常时将发出警报声提示 24 匀胶腔体底部曲面倾斜式，减少光刻胶的堆积，减少反溅，减少维护保养次数，并且带有1套可更换内衬，方便使用者定期清洗保养。 25 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能

电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;