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燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购中标结果公告(1)
招标详情
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【中国国际招标网】
项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购
招标项目编号：****
招标范围：编号设备名称数量简要技术说明1栅氧化炉设备1台用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2026-05-07 10:00
公示时间：2026-05-08 13:03 - 2026-05-12 23:59
中标结果公告时间：2026-05-13 09:15
中标人：****
制造商：****
制造商国家或地区：中国
招标进度跟踪
2026-05-13
中标通知
燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购中标结果公告(1)
当前信息
2026-05-08
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