分子束外延系统(A-WZBX1303)采购公告

发布时间: 2026年06月02日
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***********公司企业信息
项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
分子束外延系统****
2026-06-02 15:08:542026-06-05 17:00:00
****
签约后30个工作日内
¥880000.00
******校区能源材料大楼1号楼

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
分子束外延系统 1
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 880000.00
1. 一套超高真空生长腔,腔体内径:300mm,腔体材质:SS316,预留5个蒸发源安装、样品架、RHEED、RHEED屏、QCM、真空规、真空泵、闸板阀、蒸发源、Loadlock等安装法兰口; 2. 一套氮气抽速不低于250L/s的分子泵,抽速不低于10m3/h的干泵,生长腔在充分后本底不低于5E-10mbar; 3. 一套离子规,测量范围不低于5x10-10 mbar - 1x10-3 mbar,包含控制线; 4. 一套膜厚测量仪,包含晶振探头、振荡器、控制器以及线缆,速率显示精度不低于0.01/s,包含150mm行程线性驱动; 5. 一套4轴高温样品架,可以实现X/Y/Z三个方向的移动,X/Y方向移动范围±7.5 mm;Z方向的移动范围≥75 mm;R1旋转范围:±180°;样品加热W丝加热,最高温度不低于1200K,样品台兼容闪硅样品托; 6. 一套磁耦合传样杆,行程900mm,包含旗形样品停放台; 7. 一套减震波纹管,可实现与超高真空STM的真空互联,避免STM受MBE生长腔的分子泵等振动干扰; 8. 一套快速进样腔,腔体材质为316不锈钢,充分烘烤后本底真空优于5E-8mbar,包含不低于12个旗型样品托停放工位。 9. 需符合设计图纸要求(见附件)
商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

附件下载:标书代写13.厦大招标合同(货物).docx
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