招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 分子束外延系统 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2026-06-02 15:08:54 | 公告截止日期
2026-06-05 17:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
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联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签约后30个工作日内 |
预算总价
| ¥880000.00 |
发票要求
|
含税要求
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送货要求
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安装要求
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收货地址
| ******校区能源材料大楼1号楼 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
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采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 分子束外延系统 |
1 |
台 |
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品牌
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型号
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预算单价
| ¥ 880000.00 |
技术参数及配置要求
| 1. 一套超高真空生长腔,腔体内径:300mm,腔体材质:SS316,预留5个蒸发源安装、样品架、RHEED、RHEED屏、QCM、真空规、真空泵、闸板阀、蒸发源、Loadlock等安装法兰口; 2. 一套氮气抽速不低于250L/s的分子泵,抽速不低于10m3/h的干泵,生长腔在充分后本底不低于5E-10mbar; 3. 一套离子规,测量范围不低于5x10-10 mbar - 1x10-3 mbar,包含控制线; 4. 一套膜厚测量仪,包含晶振探头、振荡器、控制器以及线缆,速率显示精度不低于0.01/s,包含150mm行程线性驱动; 5. 一套4轴高温样品架,可以实现X/Y/Z三个方向的移动,X/Y方向移动范围±7.5 mm;Z方向的移动范围≥75 mm;R1旋转范围:±180°;样品加热W丝加热,最高温度不低于1200K,样品台兼容闪硅样品托; 6. 一套磁耦合传样杆,行程900mm,包含旗形样品停放台; 7. 一套减震波纹管,可实现与超高真空STM的真空互联,避免STM受MBE生长腔的分子泵等振动干扰; 8. 一套快速进样腔,腔体材质为316不锈钢,充分烘烤后本底真空优于5E-8mbar,包含不低于12个旗型样品托停放工位。 9. 需符合设计图纸要求(见附件) |
参考链接
|
售后服务
| 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
附件(2)
厦门大学进口货物采购合同(2025年修订版).docx下载预览
13.厦大招标合同(货物).docx下载预览