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【分散采购备案单】电子束曝光设备灯丝更换

湖北 -武汉

发布时间： 2026年06月18日

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

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招标编号

招标估价

招标联系人

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代理单位联系人

关键信息

采购曝光设备

招标详情

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【分散采购备案单】电子束曝光设备灯丝更换

发布日期：2026-06-18

项目概况

项目名称	电子束曝光设备灯丝更换	项目编号	****
开始时间	2026-06-18 12:57	结束时间	2026-06-23 12:57
供应商资格要求	参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。	预算金额（元）	193000.00
采购方式	单一来源	拟定成交供应商	锐时****公司
单一来源原因	电子束灯丝属于设备核心部件，需由原厂提供以保证原厂精度，实现设备使用的高精密度，目前其他厂商无法替代。德国Raith公司的产品质量在国内乃至全世界都获得了很多好评，在国内唯一销售商为锐时**公司。贯彻了走集体决策程序，维护学校利益的原则，综合考虑质量和价格，专家组一致认为只能采用单一来源采购方式完成本次电子束曝光设备灯丝更换的采购，供货商为锐时**公司，生厂商为德国Raith公司。

采购服务信息列表

序号货物（服务）名称数量计量单位预算单价

1	电子束曝光设备灯丝更换	1	套	193000
	技术参数	1.电子束灯丝更换后，与设备主机其其他部件协调工作，实现曝光功能，并曝光标准图样； 2.在实验室温度波动控制在±0.5 ℃的条件下，进行8小时束流稳定性测试，束电流稳定性≤0.5 %； 3.在10kv、60um光阑条件下，束流值大于800pA；在10kv、30um光阑条件下，束流大于200pA；在10kv、20um光阑条件下，束流大于90pA;
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