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电子束曝光设备灯丝更换成交结果公告
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电子束曝光设备灯丝更换成交结果公告
发布日期：2026-06-26
项目概况
| 项目名称 | 电子束曝光设备灯丝更换 | 项目编号 | **** |
| 开始时间 | 2026-06-18 12:57 | 结束时间 | 2026-06-23 12:57 |
| 供应商资格要求 | 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | 193000.00 |
| 联系电话 | / | ||
成交供应商信息
| 成交供应商 | **** | 成交金额 | 193000 |
| 成交理由 | 符合需求，价格最低 | ||
采购服务信息列表
| 1 | 电子束曝光设备灯丝更换 | 1 | 套 | 193000 | ||
| 技术参数 | 1.电子束灯丝更换后，与设备主机其其他部件协调工作，实现曝光功能，并曝光标准图样； 2.在实验室温度波动控制在±0.5 ℃的条件下，进行8小时束流稳定性测试，束电流稳定性≤0.5 %； 3.在10kv、60um光阑条件下，束流值大于800pA； 在10kv、30um光阑条件下，束流大于200pA；在10kv、20um光阑条件下，束流大于90pA; | |||||
| 相关材料 | ||||||
招标进度跟踪
2026-06-26
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当前信息
2026-06-18
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