开启全网商机
登录/注册
| 等离子磁控镀膜仪 | **科晶 | 96000.00 | 按行要求原厂工程师上门安装调试和测试。2、为了保证售后服务,投标方中标后需提供原厂售后服务承诺书原件,否则视同无效; 3、为保证使用要求,投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致 | 非标定制,负责实验室气路的连接和改造 选配: 1.真空泵抽真空接口为 KF25 接口,真空泵型号:VRD-16,抽气速率:4.4 L/S,电机功率:750 W,极限压强:5×10-1Pa(不带负载) 2.水冷设备:工作电流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h,尺寸:55×28×43cm(长×宽×高),水箱容量:6L,水流速率:16L/min 基本参数: 1. 电源:AC 220V 50HZ, 2. 功率:<1800W 3.射频电源:输入电源:220V 3A,输出功率:0-300W,输出频率:13.56 MHZ 4.冷却方式:设备内部的冷却方式为水冷 5.尺寸:444(长)*410(宽)*128(高) 6.磁控溅射头: 2 英寸磁控溅射头(带有水冷夹层),采用快速接头与真空腔体相连接 7.靶材尺寸要求: φ50*(0.1-5)mm 厚 8.2英寸磁控溅射头可承受最大射频功率:300W 9.非标定制高温加热台结构,溅射靶头到加热台距离可精确调节范围:10-100mm,并带有距离刻度显示。 样品台: 1.加热台可旋转,为了制膜更加均匀。 2.加热台尺寸:直径 50mm (最大可放置 2 英寸的基片) 3.旋转速度:2- 10 rpm(可调速) 4.加热台的长期使用温度 500℃ 5.控温精度: ±10℃ | 1.0套 | VTC-2RF | 96000.00 | **** |