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中国电子科技集团公司第十三研究所接触光刻机设备采购中标结果公告(1)
招标详情
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【中国国际招标网】
项目名称：****接触光刻机设备采购
招标项目编号：****
招标范围：（1）具有稳定可靠的晶圆厚度补偿系统，可对晶圆进行自调**真空吸附。 （2）通过计算机软件进行工艺参数的设定、设备的控制等。 （3）最大有效曝光范围：150mm。 （4）具备晶圆正面和背面套刻，可实现双面光刻工艺。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2026-08-20 13:00
公示时间：2026-08-31 11:24 - 2026-09-03 23:59
中标结果公告时间：2026-09-07 10:23
中标人：****
制造商：SUSS MicroTec Solutions GmbH Co. KG
制造商国家或地区：德国
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