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| 1 | 金属离子源 | 元器件/其它元器件 | 规格:栅极直径30cm,离子束流100mA~1500mA,离子动能:100-1200V,流量15~50sccm,气体种类:Ar、N2、O2 | 1.0 | 套 | 一次性交货 | 2026/11/30 |