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| 1 | **** | 中标 | 400000.00元 | 金属离子源 | 元器件/其它元器件 | 型号/件号:栅极直径30 cm,离子束流100 mA~1500 mA,离子动能100~1200 eV,流量15~50 sccm,气体种类Ar、N2、O2 | 1 | 套 |