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中南大学 - 竞价结果公告(CB119422026003347)
招标详情
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400-688-2000
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**** - 竞价结果公告(****)
发布时间:2026-11-09 17:47:22
申购单号: ****
申购主题: 双靶磁控溅射镀膜仪
采购单位: ****
竞价开始时间: 2026-11-04 15:17:58
竞价截至时间: 2026-11-09 15:17:26
币种: 人民币
付款方式: 货到验收合格后付款
备注说明:
质疑说明: 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额: 182000.00
送货时间: 合同签订后7天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
收货地址:
| 双靶磁控溅射镀膜仪 | **成越科学仪器 | 182000.00 | 按行业标准提供服务 | 1.电源输入:AC220V,50Hz 5KW2.样品台:外形尺寸φ150mm加热温度≦300°C 控温精度±1°C 可调转速≦20rpm,建议10rpm/min3.磁控靶枪:2英寸摆头靶2支,角度可调-45~45度,2个独立的电控气动挡板四个专用阳极罩,既可以防止交叉污染,又容易低气压起辉;靶枪冷却水互锁保护4.靶材尺寸:最大4mm,直径50mm5.冷却方式:循环水冷,温度控制范围:10~25°C 额定制冷量:0.75kW流量:10L/min,冷却水:纯净水6.真空腔体:腔体尺寸直径φ300mm,高度340mm 腔体材质SUU304不锈钢 观察窗口直径φ100mm7.气体控制:1路质量流量计用于控制Ar,量程:1-500scmm(可选) 额外预留一路气体接口8.真空阀门:高真空电控闸板阀1套;高真空电控切断阀1套;高真空电控旁抽阀1套9.溅射电源:直流电源功率500W*1台;射频电源:300W*1台13.56MHz;带有自动匹配器10.空压机:转速:1380转/分钟 流量:40升/分钟额定排气压力:0.7兆帕11.控制系统: CYKY自研专业级控制系统;15.6寸PLC+触摸屏人机界面手自动控制系统,具备完善的安全互锁保护功能;语言可切换中英文12.图形可视化操作界面: 设备尺寸600mm×650mm×1280mm13.设备重量:550kg | 1.0 | XY-CKM400S-2T | 182000.00 | **** |
招标进度跟踪
2026-11-09
中标通知
中南大学 - 竞价结果公告(CB119422026003347)
当前信息
2026-11-04
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