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....★最大升温速率:150 ℃/s (真空); 5.降温速率:双石墨盘 130℃/min;(裸片 600℃/min); 6.测试气氛:真空、氮气、氩气、氧气; 7.样品尺寸:4英寸(100mm); 8.温场均匀性:≤ 1% (载台) /≤1.5% (裸硅片); 9.温度传感器:标准K型热电偶; 10.MFC空气气体回路:三路(氮气、氩气、氧气); 11.衬底冷...( 裸片 在正文中 )
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