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...1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝...( 掩模 在正文中 )
...对准系统左右光管可单独X Y Z向运动,X向:±5mm Y向:±5mm Z向:±5mm; 掩模尺寸2.5寸,3寸,4寸,5寸; 样片尺寸:碎片,2寸, 3寸,4寸 ★适应样品厚度:0.5-6mm,最大可支持20mm的样片(定制); 曝光方式:定时(倒计时方式); 照明不均匀性:<2.5%; 双视场CCD对准显微镜:变倍镜头(0.7-4.5倍)+显微物镜 掩模...( 掩模 在正文中 )
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