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...构的应力。3. 高级仿真环境允许: (1) 简便创建和修改工艺流程源程序,包括自动控制版图掩模序列 ;(2) 自动和用户定义网格生成和控制 ;(3) 交互绘制二维结构和分布以及一维横截面 ;(4) 运行时提取重要的工艺和器件参数 ;(5) 工艺流程优化以及模型参数校准 。4. 无需昂贵的分批作业试验即可精确地表征基于物理的器件的电、光和热性能 。5. 解决成...( 掩模 在正文中 )
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