电子束曝光设备灯丝更换成交结果公告

发布时间: 2026年06月27日
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项目概况

项目名称:

电子束曝光设备灯丝更换

项目编号:

****

开始时间:

2026-06-26 11:32

结束时间:

2026-06-28 11:32

供应商资格要求:

参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。

预算金额(元)

193000

联系电话:

/

成交供应商信息

****

193000

符合需求,价格最低

采购服务名单信息

序号

服务名称

数量

计量单位

预算单价(元)

电子束曝光设备灯丝更换

1

193000

1

技术参数

1.电子束灯丝更换后,与设备主机其其他部件协调工作,实现曝光功能,并曝光标准图样;
2.在实验室温度波动控制在±0.5 ℃的条件下,进行8小时束流稳定性测试,束电流稳定性≤0.5 %;
3.在10kv、60um光阑条件下,束流值大于800pA; 在10kv、30um光阑条件下,束流大于200pA;在10kv、20um光阑条件下,束流大于90pA;

相关材料

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2026-06-27
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