分子泵共有431条相关信息
...和使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封安全可靠。 2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; 3.真空极限 5.0×10-5Pa(设备和手套箱分体,设备空载,抽真空24小时); 4.升压率 设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值); 设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa; 5.抽速 从大...( 分子泵 在正文中 )
...和使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封安全可靠。 2.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; 3.真空极限 5.0×10-5Pa(设备和手套箱分体,设备空载,抽真空24小时); 4.升压率 设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值); 设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa; 5.抽速 从大...( 分子泵 在正文中 )
...统 5.1、极限真空优于: 4×10-5pa; 5.2、主泵抽速不低于 730L/S,采用分子泵; 5.3、前级泵抽速不低于 30 m3/h; 5.4、气动高真空插板阀,通径大于等于 150mm; 5.5、带有旁抽式结构,可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能,防止误操作; 5.6、腔体充氮气,从常压抽至 5×10-4pa 的时间要求不超过 1...( 分子泵 在正文中 )
...板机构。门与腔体间采用胶圈密封。真空室侧边有一个CF150刀口法兰连接卧室-620型高性能分子泵。腔体周围有CF35法兰七个,一个连接CF35气动角阀、一个连接四芯引线法兰、一个连接电阻规管,一个连接金属电离规管。一个备用。上盖面有3个永磁靶位。腔体除大法兰密封口采用胶圈密封外,其余各口采用无氧铜垫圈密封。真空室壁带有匀气环。前后开门结构。 1.2 磁控靶...( 分子泵 在正文中 )
...板机构。门与腔体间采用胶圈密封。真空室侧边有一个CF150刀口法兰连接卧室-620型高性能分子泵。腔体周围有CF35法兰七个,一个连接CF35气动角阀、一个连接四芯引线法兰、一个连接电阻规管,一个连接金属电离规管。一个备用。上盖面有3个永磁靶位。腔体除大法兰密封口采用胶圈密封外,其余各口采用无氧铜垫圈密封。真空室壁带有匀气环。前后开门结构。 1.2 磁控靶...( 分子泵 在正文中 )
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...高压电路板的维修及更换; 更换各灯丝; 检修进样杆; 阳极靶的检修; 检修样品台及检修更换分子泵电源等 信息咨询 吉林大学招标与备案(采购)管理中心 设 备 类:林老师: 0431-85167310 工 程 类:白老师: 0431-85167313 服务及其他货物:李老师: 0431-85167309...( 分子泵 在正文中 )
...高压电路板的维修及更换; 更换各灯丝; 检修进样杆; 阳极靶的检修; 检修样品台及检修更换分子泵电源等 信息咨询 吉林大学招标与备案(采购)管理中心 设 备 类:林老师: 0431-85167310 工 程 类:白老师: 0431-85167313 服务及其他货物:李老师: 0431-85167309...( 分子泵 在正文中 )
...板机构。门与腔体间采用胶圈密封。真空室侧边有一个CF150刀口法兰连接卧室-620型高性能分子泵。腔体周围有CF35法兰七个,一个连接CF35气动角阀、一个连接四芯引线法兰、一个连接电阻规管,一个连接金属电离规管。一个备用。上盖面有3个永磁靶位。腔体除大法兰密封口采用胶圈密封外,其余各口采用无氧铜垫圈密封。真空室壁带有匀气环。前后开门结构。 1.2 磁控靶...( 分子泵 在正文中 )
...板机构。门与腔体间采用胶圈密封。真空室侧边有一个CF150刀口法兰连接卧室-620型高性能分子泵。腔体周围有CF35法兰七个,一个连接CF35气动角阀、一个连接四芯引线法兰、一个连接电阻规管,一个连接金属电离规管。一个备用。上盖面有3个永磁靶位。腔体除大法兰密封口采用胶圈密封外,其余各口采用无氧铜垫圈密封。真空室壁带有匀气环。前后开门结构。 1.2 磁控靶...( 分子泵 在正文中 )
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...≤0.4×12mm 1.2.4灯丝可更换。 1.2.5配备真空机械泵。 1.2.6配备真空分子泵。 1.2.7工作时旋转速度:≥800转/分钟 1.3测角仪: 1.3.1扫描方式: / 方式 1.3.2角度重现性:≤±0.0001 度 1.3.3最小可控步长: ≤0.0001 度 *1.3.4测角仪半径:300mm 1.3.5最低可以从0.5°开始测量 1....( 分子泵 在正文中 )
...1/16 英寸),外置加热套,最高加热温度 200°C可调,双级降压 2 真空系统: 涡轮分子泵作为主抽泵,前级泵为无油隔膜干泵,真空系统由液晶显示屏显示和控制 3 质谱室: 不锈钢材质,外配加热套,最大可烘烤温度为 200°C 4 质量分析器: 开放式离子源,配双灯丝,可检测 1-100质量数气体 5 软件: 多通道检测气体,可实现定性和定量分析,适用于...( 分子泵 在正文中 )
...:5 个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用 2 个); 、 Dg150 法兰接口:1 个(接分子泵); 、磁控溅射系统:2套 、靶材尺寸:2英寸; 、提供靶材:不锈钢、铝、各一块(仅供测试靶材用); 、永磁靶,射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷; 、每个靶都配备气动控制挡板组件 1 套; 、靶在下,向上溅射,具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能; 、暴露大气下,磁...( 分子泵 在正文中 )
...:5 个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用 2 个); 、 Dg150 法兰接口:1 个(接分子泵); 、磁控溅射系统:2套 、靶材尺寸:2英寸; 、提供靶材:不锈钢、铝、各一块(仅供测试靶材用); 、永磁靶,射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷; 、每个靶都配备气动控制挡板组件 1 套; 、靶在下,向上溅射,具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能; 、暴露大气下,磁...( 分子泵 在正文中 )
...0x75(熔炼重量15g不锈钢) 5、真空度:标配旋片泵可达10-3mbar, 选配用本司分子泵可到10-5mbar 6、非自耗式起弧电极:φ4钨针(W) 7、适用范围:可用于熔炼熔点低于钨金属的金属材料...( 分子泵 在正文中 )
...061铝材及高纯陶瓷5. 压力控制5.1 电动高真空阀门,位置可预设6. 真空系统6.1 分子泵6.2 机械泵6.3 本底真空优于 2x10-2Pa6.4 真空测量:进口工艺规及大气压力开关7. 温控系统7.1循环水冷8. 气路系统8.1 4路进气9.操作界面9.1 触摸屏操作,菜单自动/手动操作10. 安全控制10.1 异常报警 参考链接 售后服务...( 分子泵 在正文中 )
...,离子能量稳定度RMS值≤±2%/h,离子束流稳定度RMS值≤±2%/h;4. 真空系统:分子泵+机械泵,系统极限真空度≤8.5×10-5Pa,系统工作本底真空度≤5×10-4Pa,从大气压抽至5×10-4Pa时间≤30分钟;5. 气路系统:工艺气体2路,其中1路是高纯氩气刻蚀工艺气体,1路为普通氮气为工作气体;6. 水冷系统:水冷部位分为刻蚀台、工艺腔、分...( 分子泵 在正文中 )
...W;下电极偏置射频发生器:频率13.56 MHz,功率≥600 W; 4、真空系统:涡轮分子泵,抽速≥ 1300 l/s;前级泵采用干泵,抽速≥ 100 m3/h;本底真空≤ 1E-6 mbar; 5、气路系统:不少于7路工艺气体管路,包括SF6, CHF3, CF4, O2, Ar, Cl2, BCl3等工艺气体; 6、刻蚀工艺指标:以氮化硅为例,刻蚀深...( 分子泵 在正文中 )
...;1.5% 3.空间稳定性: lt;1.5μm 4.真空液体束工作真空:10-2pa 5.分子泵抽速2100L/s 交货期8-10个月 质保期要求在收到货后12个月 预计采购时间: 2022-12 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。...( 分子泵 在正文中 )
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